∪ω∪ 目前所用的蒸发源主要有电阻加热、电子束加热、感应加热、电弧加热和激光加热等多种形式。电阻加热式蒸发源：电阻式蒸发源简单、经济、可靠，可以做成不同的容量、形状并具蒸发源有三种类型，电阻加热源、电子束加热源、高频感应加热源。对不同的成膜材料要选择不同加热器材料，蒸发源的选取要求有良好的热稳定性，化学性质不活泼，达到
ˋ＾ˊ〉-# 1．按蒸发方式分：自然蒸发：即溶液在低于沸点温度下蒸发，如海水晒盐，这种情况下，因溶剂仅在溶液表面汽化，溶剂汽化速率低。沸腾蒸发：将溶液加热至沸点，使之蒸发温度小于1500℃的铝、金、银等金属，蒸发一些硫化物、氟化物和某些氧化物.要求：1.蒸发源材料的自身熔点要高；2.饱和蒸汽压要低；3.化学性能要稳定，且具有良好
ˇ＾ˇ 蒸发源的类型蒸发源的类型三、高频感应蒸发源高频感应蒸发源是将装有蒸发材料的坩埚放在高频螺旋线圈的中央，的中央，使蒸发材料在高频电磁场的感应下产生强大的涡流对铁磁体)，损失和磁滞损失(目前，真空蒸发使用的蒸发源主要有电阻加热、电子束加热、高频感应加热、电弧加热等五大类。1. 电阻加热采用钨、钼、钽等高熔点金属，做成适当的形状蒸发源，其上
4.蒸发源(1)蒸发源形状蒸发源的形状如图5.5所示，大致有克努力曾盒型(Knudsen cell)、自由蒸发型和坩埚型三种。蒸发源应具备以下三个条件：①为了能获得足够的蒸镀速度，要求蒸发源3、蒸发源类型关于蒸发源的形状可根据蒸发材料的性质，结合考虑与蒸发材料的湿润性，制作成不同的形式和选用不同的蒸发源物质。4、主要工艺流程真空蒸镀有三层：底漆层(6~12um)+镀
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